טאַנגסטאַן פאָדעם סקאַנינג עלעקטראָן מיקראָסקאָפּ, עקאָ. סעם, 15 קס ~ 250000 קס
פּראָדוקט באַשרייַבונג
A63.7062 טאַנגסטאַן פאָדעם סקאַננינג עלעקטראָן מיקראָסקאָפּ, עקאָ. SEM | ||
האַכלאָטע | 4.5nm@30KV (SE); 6 נם @ 30 קוו (בסע) | |
מאַגניפיקאַטיאָן | נעגאַטיוו מאַגנאַפאַקיישאַן: 15 קס ~ 250000 קס; פאַרשטעלן מאַגנאַפאַקיישאַן: 30 קס ~ 500 000 קס | |
עלעקטראָן ביקס | טאַנגסטאַן העאַטעד קאַטהאָדע-פּרע סענטערד טאַנגסטאַן פאָדעם פּאַטראָן | |
אַקסעלערייטינג וואָולטידזש | 0 ~ 30 קוו | |
לענס סיסטעם | דריי-מדרגה ילעקטראָומאַגנעטיק לענס (טייפּערד לענס) | |
אָביעקטיוו עפענונג | מאָולידענום עפענונג אַדזשאַסטאַבאַל אַרויס וואַקוום סיסטעם | |
מוסטער בינע | פינף אַקסעס בינע | |
רייזע ראַנגע | X (אַוטאָ) | 0 ~ 50 מם |
Y (אַוטאָ) | 0 ~ 50 מם | |
ז (מאַנואַל) | 0 ~ 25 מם | |
ר (מאַנואַל) | 360o | |
ה (מאַנואַל) | -5o ~ 90o | |
מאַקסים ספּעסאַמאַן דיאַמעטער | 150 מם | |
דעטעקטאָר | SE: הויך וואַקוום צווייטיק עלעקטראָן דעטעקטאָר (מיט דעטעקטאָר שוץ) | |
מאָדיפיקאַטיאָן | בינע אַפּגרייד; EBL; STM; AFM; באַהיצונג סטאַגע; Cryo Stage; טענסאַל סטאַגע | |
אַקסעססאָריעס | CCD, LaB6, X-Ray דעטעקטאָר (EDS), EBSD, CL, WDS, קאָוטינג מאַשין | |
וואַקוום סיסטעם | טורבאָ מאָלעקולאַר פּאַמפּס; | |
עלעקטראָן שטראַל קראַנט | 10 פּאַ ~ 0.1 |
שרייב דיין אָנזאָג דאָ און שיקן עס צו אונדז